A MEMS-ek mikroprocesszorral és szenzorral felszerelt számítógépes chipek; mozgást, irányokat és környezetünk változásait észlelik. Legismertebb fajtájuk az okostelefonokban és tabletekben gyakran használt gyorsulásmérő. Már ma is a készülékek fontos komponensei, az autóiparban viszonylag régóta használják őket, tabletekben, nyomtatókban, kivetítőkben, digitális kamerákban és sok más elektronikus berendezésben szintén megtalálhatók, ám s következő években valószínűleg a mobiltelefóniára fejlődését befolyásolják leginkább.
A WiSpry szerint a gyorsan fejlődő MEMS technológia jóvoltából okostelefonjaink hamarosan nem csak azt fogják tudni, hogy hol vagyunk, hanem azt is, hogy az adott épület melyik emeletén nézelődünk. A légnyomás ingadozását mérő barométer két-három éven belül terjedhet el okos készülékeinken - a változások alapján fogja a gépünk tudni, hogy hányadik emeleten tartózkodunk.
A szakértők szerint kevesebb félresikerült hívást és az akkumulátor hosszabb élettartamát eredményező rádiófrekvenciás (RF) MEMS-ek szintén gyorsan terjednek a mobilkommunikációban: 2015-ig az RF MEMS szektor mintegy 200 szoros növekedése várható.