A szakértőcsapat a világ legerősebb pulzáló ipari lézerberendezése előtt: Dr. Peter Kürz (ZEISS SMT), Dr. Michael Kösters (TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing) és Dr. Sergiy Yulin (Fraunhofer Institute) © Deutscher Zukunftspreis / Ansgar Pudenz
A 2020. évi német Jövődíjat három díjazott kapta meg: a ZEISS félvezetőket gyártó részlege, a lézerrendszereket gyártó TRUMPF, valamint a Fraunhofer Intézet optikai fejlesztésekkel foglalkozó jénai laboratóriuma. E cégek a jövő chipjeinek gyártását lehetővé technológiát fejlesztik tovább.
A modern chipgyártás során használt excimerlézeres eljárás lassan eléri a határait. Az eddiginél kisebb szerkezetméretek tíz nanométernél kisebb tartományon belül excimerlézerrel már nem előállíthatók. Ezekhez a struktúrákhoz még rövidebb hullámhosszú levilágításra van szükség – extrém ultraibolya sugárzás (EUV) tartományú sugárzásra. A ZEISS, a TRUMPF és a Fraunhofer Intézet ezen EUV-technológia fejlesztésében ért el áttörést, és ezzel megkönnyíti az eljárás ipari léptékű alkalmazását.
Az együttműködéshez a ZEISS az optikai rendszerrel, TRUMPF pedig a világ legerősebb, pulzáló ipari lézerberendezésével járult hozzá: ezek nélkül lehetetlen lenne a nano méretű tranzisztorok gyártása. Az EUV-technológia felhasználásával a következő két évtizedben a korábbiaknál jóval nagyobb teljesítményű mikrochipeket lehet gyártani, s az eljárás másik előnye, hogy a gyártás hatékonysága is jobb, mint a korábbi módszereké.
Forrás: zeiss.com
