A mozgó szerelvényt mágnesesen előterhelt levegős csapágyak támogatják, amelyek az aktív felületen helyezkednek el. A csapágyakat úgy alakítják ki, hogy kompatibilisek legyenek a megrendelő által előírt terhelésekkel, illetve tartsák az aktív mozgórész és a nyomólemez közötti 12 ... 25 mikron rést.
Az egyes tengelyekhez tartozó lépés- és irányjelek két különálló mikroléptetős meghajtóból (két vagy négy fázis) érkeznek. A kéttengelyes indexer végzi a lépés- és irányjelek továbbítását a meghajtók felé. A kétfázisú motoroknál a teljes lépés 250 mikron, a négyfázisúaknál 125 mikron. A mikroléptetéssel 0,5 ... 1 mikron nagyságrendű felbontás is elérhető.
A kéttengelyes, lineáris léptetőmotor egy teljes kéttengelyes, egysíkú, levegős csapágyas pozicionálórendszer, amely tartalmazza a motort, a csapágyazást, a pozicionálórendszert, mindezt egyetlen, kompakt csomagba integrálva. A lineáris enkóderek léptetőmotorral történő egybeintegrálásával hibrid, zárthurkú pozicionálórendszerek hozhatók létre.
