A Nordson MARCH bejelentette, hogy a StratoSPHERE sorozatú, szeletszintű tokozási és 3D-s tokozási alkalmazások számára kifejlesztett plazmás felületkezelő rendszere a rugalmasság és feldolgozási képesség fokozása érdekében immár két, négy- és akár hatkamrás konfigurációban is elérhető. A SPHERE-sorozatú plazmás felületkezelő rendszerek megoldást nyújtanak a felületek előkészítésére és szennyeződések (polírozáskor keletkező, hártyarétegek, szerves szennyeződések stb.) eltávolítására, valamint a félvezető szeletek feszültségmentesítésére - különös tekintettel a 2.5D-s és 3D-s szeletszintű tokozási alkalmazásokra