A GE Érzékelés és Vizsgálati Technológiák üzletága a Phoenix, microme|x és nanome|x típusnévvel forgalmazza kicsi (1 µm alatti) fókuszpont átmérővel rendelkező röntgen berendezéseit.Ezekkel a berendezésekel szoftveres nagyítás alkalmazása nélkül akár 25.000-szeres nagyítást lehet elérni

Ez lehetővé teszi a kisméretű alkatrészek, vezetőpályák, µBGA és CSP tokok bekötéseinek a vizsgálatát. Továbbá lehetőséget nyújt a furatfal fémezés alapos tanulmányozására is. Ennek köszönhetően ezzel a berendezéssel többek között a hídképződés, vezető pályák közötti zárlatok, forraszzárványok és az integrált áramkörök 25 µm-es arany vezetőszálainak szakadása detektálható nagy biztonsággal. Mindegyik típus nyitott röntgencsöves, ezért a röntgencsövek rendszeres karbantartást igényelnek. Mindegyik típus képes az áramkörök automatikus vizsgáltra. Az áramköröket, alkatrészeket manuálisan helyezhetjük a gépbe. A microme|x α automatikus céltárgy behelyezésesre is átszerelhető. Egyes típusokat ki lehet egészíteni háromdimenziós vizsgálatokra alkalmas CT-vel (Computer Tomography) is. A tárgyasztal minden berendezésben fokozatmentesen 360°-ban forgatható és maximum 70°-ban dönthető. A detektor valósidejű képet ad, felbontása 2 megapixel. A nanome|x típus 4 megapixeles felbontású detektorral is rendelhető. Ebben az esetben a berendezést 30 hüvelykes TFT kijelzővel szerelik fel a többinél rendszeresített 24 hüvelykes helyett.

További információ